Charakteryzowanie stopnia podciśnienia, jednostki i podziału obszaru próżniowego

Charakteryzowanie stopnia podciśnienia, jednostki i podziału obszaru próżniowego

IKS PVD, jesteśmy producentem urządzeń do malowania próżniowego PVD, skontaktuj się z nami teraz, iks.pvd @ foxmail.come

Nie jest rozsądne stosowanie ciśnienia do reprezentowania stopnia podciśnienia, który był stosowany w historii pomiaru próżni za pomocą manometru typu u.

W ogólnym systemie próżni, hydrostatyczna fizyczna ilość izotropowego ciśnienia gazu obojętnego jest zazwyczaj wykorzystywana do wyrażania stopnia podciśnienia. Dlatego pomiar stopnia podciśnienia sprowadza się tylko do pomiaru ciśnienia. Należy jednak zwrócić szczególną uwagę na warunki pomiaru, które są stacjonarne (ruch losowy), stan ustalony i izotropowy pojedynczy gaz obojętny w skończonym pojemniku. W tym przypadku rozkład prędkości maksymalnej, prawo rozpraszania cosinusoidalnego i koncepcja ciśnienia hydrostatycznego (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) są względnie zgodne z rzeczywistością obiektywną, pomiar stopnia podciśnienia jest stosunkowo prosty i łatwy.

Zgodnie z definicją stopnia podciśnienia, lepiej jest wyrazić stopień podciśnienia przez gęstość cząsteczkową n, i nie jest sprzeczne wyrażanie stopnia podciśnienia przez ciśnienie. Kiedy mierzone jest ciśnienie, gaz jest ogólnie w stanie równowagi i spełnia maksymalne prawo rozkładu prędkości, to jest p = nkT jest prawdą. Temperatura gazu jest stała w czasie pomiaru, więc ciśnienie gazu p jest proporcjonalne do gęstości cząsteczkowej n. Innymi słowy, ciśnienie jest miarą gęstości cząsteczkowej, więc próżnię można wyrazić jako ciśnienie.

W badaniach kosmicznych przedmiotem badań jest ruch nieskończonej przestrzeni (1 ~ 10 KMS - 1 lub wyższy) i pod wpływem złożonej niestabilnej, zintegrowanej atmosfery otoczenia, prawo rozkładu prędkości Max i prawo rozpraszania cosinus nie koniecznie, również stracił pierwotne znaczenie fizyczne, więc ciśnienie pomiaru próżni jest bardziej złożone i trudne.

Ogólnie rzecz biorąc, jest popularny i używany do wyrażania stopnia podciśnienia pod ciśnieniem, ale nie jest jedyny. Do wyrażenia stopnia podciśnienia można również wykorzystać następujące parametry:

Gdy stopień podciśnienia jest bardzo wysoki, to znaczy, gdy gęstość cząsteczkowa jest bardzo mała, statystyczna fluktuacja jest bardzo oczywista. Na przykład, gdy ciśnienie p = 10-12pa, fluktuacja statystyczna jest większa niż 5 razy 10-2, a ciśnienie straciło swoje prawdziwe znaczenie. Dlatego w niektórych przypadkach ciśnienie jest tylko względnym wskaźnikiem innych wielkości .

1. Pytania i odpowiedzi

Jednostki próżniowe?

Ciśnienie gazu zdefiniowane przez zderzenie cząsteczki gazu na powierzchni jest szybkością zmiany czasu pionowej składowej pędu cząsteczki gazu kolidującej z powierzchnią jednostki, to znaczy siły otrzymanej na jednostkę powierzchni w Pascal lub Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

W inżynierii czasami wartość pa jest zbyt mała, kPa i MPa są często używane do wyrażania nacisku. Niska próżnia, czasami wyrażana jako "procent próżniowy", taka jak pompa próżniowa z pierścieniem wodnym, tłokowa pompa próżniowa i pompa próżniowa z prostym powietrzem często wyrażana w jednostkowej próżni. Kiedy ciśnienie p> 102 Pa, procent próżni wynosi delta.

Gdzie: p0 - standardowe ciśnienie atmosferyczne, Pa

Oddziaływanie próżniowe

Dzięki jednostce do pomiaru stopnia podciśnienia stopień próżni może być wyrażony ilościowo. Jednak obecnie zakres ciśnień związanych z technologią próżni osiągnął 20 rzędów wielkości, w celu ułatwienia użycia, czasami wystarczy tylko z grubsza wskazać ogólny zakres stopnia podciśnienia, zwykle jakościowo podzielony na kilka regionów z grubsza próżni. . Fizyczne charakterystyki ruchu cząsteczkowego gazu w stanie próżni oraz efektywny zakres pracy pompy próżniowej i próżni są uważane za podstawę podziału regionów.

Jeśli chodzi o podział regionów próżniowych w Chinach, pojęcia technologii próżniowej (gb3163-1982) określają się następująco:

Grubą próżnię, niską próżnię i wysoką próżnię dzieli się według średniej swobodnej drogi cząsteczek gazu w porównaniu z charakterystyczną wielkością d pojemnika. Głównym zagadnieniem jest to, czy zderzenie cząsteczek gazu lub zderzenie cząsteczek gazu ze ścianą urządzenia odgrywa decydującą rolę w występowaniu zjawisk fizycznych.

Granica pomiędzy wysoką próżnią i ultra-wysoką próżnią jest ustawiona na 10-6Pa. Głównym powodem jest rozważenie mechanizmu próżniowej adsorpcji fizycznej. Dopiero gdy ciśnienie p <10-6pa jest="" oczywiste,="" można="" je="" uzyskać="" przez="" pompę="" dyfuzyjną="" do="" ekstrakcji,="" a="" ciśnienie="" mierzy="" się="" za="" pomocą="" miernika=""> Jeśli chodzi o granicę pomiędzy ultra-wysoką próżnią i ultra-wysoką próżnią, dzieje się tak, ponieważ statystyczna fluktuacja (większa niż 5 * 10-2) występuje, gdy p <10-12>

Powyższe obszary próżniowe są podzielone na regiony reprezentujące zakres ciśnienia, ponieważ ciśnienie jest nadal wyrażane w stopniach. Jednak w niskiej próżni, wysokiej próżni, bardzo wysokiej próżni i bardzo wysokiej próżni, ciśnienie, o którym mowa, jest zasadniczo różne, a jedynie względne wskazanie innych wielkości.

Fizyczne charakterystyki próżni, pompy próżniowej i próżniomierza stosowane w każdym regionie są wyszczególnione w tabeli 1.

Wraz z rozwojem technologii próżniowej zmienił się również podział regionów próżniowych.