Systemy mogą obejmować magnetron napylane źródeł z obu celów średnicy 1,5- lub 2-calowe i do czterech źródeł na system, z możliwością RF i DC. Dostępne są rozmaite opcje, takie jak ogniw MFC dla różnych gazów, pakiety dostaw energii, blokad jednego lub wielu wafel obciążenia, itp.   Magnetrony instalacji mogą być montowane na Z-etapy, aby zapewnić szeroki zakres i rozdzielczości, szybkości osadzania.

Podłoże testowe, które rozmiary może wynosić od około 4 mm kwadratowych do ponad 25 mm kwadratowych, dostosowane do wymagań użytkownika. To bardzo proste zmienić rozmiar pad test i krok i powtórz odległości w polu z naszego łatwego w obsłudze oprogramowania.

Możliwości & składników

Kombinatoryczna napylane systemów zapewni użytkownikowi szereg możliwości dla rozwoju nowych materiałów. Taki sprzęt szybko pomogą klientowi określić właściwego składu wymagane do konkretnych zastosowań, oszczędzając dużo czasu i pieniędzy, testowanie setki unikalnych kompozycji jeden naraz.

Systemy są dostarczane w komplecie wszystkie niezbędne elementy, takie jak Skrzynki rozdzielcze zasilania, moc dostaw, ogniw MFC, wafel przepływ blokady przełączniki i zawory pneumatyczne, wraz z zamkniętej pętli sprzężenia dla kontroli ciśnienia stałego, różne pakiety pompowania, pełne wyróżnione oprogramowanie, itp. Każda maszyna może indywidualnie dopasowane do specyficznych wymagań klienta.