Główne urządzenie przetwarzające wiązkę elektronów

Główne urządzenie przetwarzające wiązkę elektronów

Urządzenie do przetwarzania wiązki elektronów składa się głównie z następujących części:

Pistolet lektronowy

Urządzenie do otrzymywania wiązki elektronów, które obejmuje:
1. Katoda emisyjna elektronów - wykonana z wolframu lub tantalu i emitująca elektrony w warunkach grzewczych.
2, kontroluj bramę - nie tylko kontroluj siłę wiązki elektronów, ale także pierwotny efekt ogniskowania.
3. Przyspieszona anoda - zwykle uziemiona, a ponieważ katoda ma wysokie podciśnienie, może napędzać elektrony w celu przyspieszenia.

System próżniowy

Zapewnij próżnię wymaganą do przetwarzania elektronicznego. Stopień próżni ogólnego przetwarzania wiązki elektronów utrzymuje się na poziomie 1,33 × 10–2 ~ 1,33 × 10–4 Pa.

System sterowania i zasilanie

System sterowania obejmuje kontrolę ogniskowania wiązki, kontrolę położenia wiązki, kontrolę siły wiązki i kontrolę przesunięcia stołu.
Kontrola ogniskowania wiązki: zwiększa gęstość energii wiązki elektronów, która określa aperturę lub szerokość szwu punktu przetwarzania.
Metoda ogniskowania: po pierwsze, pole elektrostatyczne wysokiego napięcia stosuje się do skupienia przepływu elektronów na cienkiej wiązce; Inną metodą jest użycie „soczewki elektromagnetycznej” do skupienia się na polu magnetycznym.

Kontrola położenia wiązki: zmienia kierunek elektronów.
Kontrola przesunięcia stołu: kontroluj położenie stołu podczas obróbki.
Zasilacz: wymagania dotyczące stabilności przy wysokim napięciu, powszechnie stosowane do stabilizacji zasilacza.

IKS PVD Maszyna do powlekania optycznego wiązką elektronów, IKS-OPT2700, Więcej informacji, zapraszamy do kontaktu iks.pvd@foxmail.com