Zewnętrzny wyciek i wewnętrzny wyciek komory próżniowej

Zewnętrzny wyciek i wewnętrzny wyciek komory próżniowej

Wyciek, o którym zwykle mówimy, ogólnie odnosi się do wycieku zewnętrznego, to znaczy wyciek z zewnątrz komory próżniowej lub rurociągu do wewnątrz; Przeciek wewnętrzny odnosi się do wycieku między dwiema komorami próżniowymi, które należy izolować, między dwoma odcinkami rurociągu próżniowego izolowanego przez zawór lub między komorą próżniową a rurociągiem. Poniżej znajduje się typowa pompa dyfuzyjna. Pompa grupy pompowej pompa w wysokiej próżni u góry zaworu powinna zostać zamknięta, jeśli zawór jest zamknięty luk, z zaworu pod wysoką próżnią, gaz przepływa po prawej stronie wycieku, wyciek jest wyciekiem wewnętrznym. Podobnie jak wyciek zewnętrzny, wyciek wewnętrzny może również powodować problemy, takie jak przedłużony czas pompowania próżniowego i ograniczona zmienność próżniowa. Wyciek można znaleźć bezpośrednio przez detektora wycieku, podczas gdy wyciek wewnętrzny może dokonać wstępnego osądu tylko na podstawie częściowego ciśnienia i tak dalej, a następnie przyciągnąć podejrzane rurę po jednej stronie zaworu, a następnie w celu wykrycia wykrycia szczelności podsumowania (lub z boku podejrzanego detektora szczelności zaworu, na drugą stronę rury do wykrywania szczelności helu).

Firma IKS PVD, dekoracyjna maszyna do powłoki, maszyna do powlekania narzędzi, maszyna do powłoki DLC, optyczne powłoki, linia powlekania próżniowego PVD i projekt obrotowy. Skontaktuj się z nami teraz, e -mail: iks.pvd@foxmail.com