Czynniki nierównomiernego cienkiego filmu powodują magnetronowe napylanie próżniowe

Czynniki związane z nierówną warstwą folii spowodowane przez rozpylanie magnetronowe z wykorzystaniem techniki próżniowej obejmują trzy aspekty: stan próżni, pole magnetyczne i argon.

Zasada działania magnetronowej maszyny do powlekania próżniowego polega na tym, że pod wpływem próżni elektron ortogonalnego pola magnetycznego bombarduje argon i utworzy jon argonu, a następnie bombarduje materiał docelowy, tak aby docelowy jon mógł zostać osadzony na powierzchnia obrabianego przedmiotu z utworzeniem cienkiej warstwy.

Stan próżniowy wymaga sterowania układem pompowania, a każdy odpowietrznik powinien być jednocześnie uruchamiany i konsekwentny. Jeśli pompowanie nie jest jednorodne, ciśnienie wewnątrz komory próżniowej będzie nierównomierne. Ciśnienie ma pewien wpływ na ruch jonów. Ponadto należy kontrolować czas pompowania. Zbyt krótki spowoduje niedostateczną próżnię, ale jest zbyt długi i marnuje zasoby.

Pole magnetyczne działa w sposób ortogonalny, ale nie jest możliwe, aby natężenie pola magnetycznego było w 100% jednolite. Tam, gdzie ogólne pole magnetyczne jest silne, grubość folii jest duża, ale jest mała, wręcz przeciwnie, więc spowoduje to niespójność grubości folii. Jednak w procesie produkcyjnym nierówność folii spowodowana nierównomiernością pola magnetycznego nie jest powszechna.

Równomierność gazu argonowego wpływa również na jednorodność filmu, a zasada jest podobna do próżni. Ponieważ argon wchodzi do komory próżniowej, ciśnienie w komorze ulegnie zmianie. Jednolite ciśnienie może kontrolować równomierność grubości folii magnetronowej maszyny do powlekania próżniowego.

Od ponad dekady IKS specjalizuje się we wszystkich rodzajach produkcji urządzeń do powlekania próżniowego, zajmujących się badaniami i rozwojem oraz produkcją maszyn do powlekania próżniowego, przy czym najnowsza technologia stale wytwarza produkty spełniające potrzeby rynku w zakresie urządzeń do powlekania próżniowego, dostarczając klientom dostosowane do potrzeb rozwiązania technologiczne i sprzęt.