Jak działa PECVD
Apr 17, 2024| Jak działa PECVD
Metoda PECVD służy do hodowli cienkich warstw azotku krzemu z wykorzystaniem właściwości plazmy nierównowagowej, czyli cząsteczki plazmy, atomy, jony lub grupy aktywne są takie same jak otaczające środowisko, a elektrony nierównowagowe ze względu na ich małą masę, ich średnia temperatura może być o dwa rzędy wielkości większa niż w przypadku innych cząstek, więc w normalnych warunkach do zajścia wielu reakcji potrzebne są wysokie temperatury (300 stopni C -450 stopni C). Podczas procesu osadzania cząsteczki specjalnego gazu NH3 i SiH4 podlegają intensywnemu ruchowi termicznemu pod wpływem wysokiej częstotliwości i zderzają się ze sobą, jonizując swoje cząsteczki, a następnie wytwarzając SiNx.
Firma IKS PVD, maszyna do powlekania dekoracyjnego, maszyna do powlekania narzędzi, maszyna do powlekania DLC, maszyna do powlekania optycznego, linia do powlekania próżniowego PVD, dostępny projekt pod klucz. Skontaktuj się z nami teraz. E-mail: iks.pvd@foxmail.com