Przedstawienie kontrolera przepływu masy

Kontroler przepływu masowego (MFC) służy do precyzyjnego pomiaru i kontroli masowego natężenia przepływu gazu. Zwykle składa się z czujnika przepływu, zaworu sterującego przepływem, wzmacniającego obwodu sterującego i kanału sterowania bocznikowego. Jego zasilanie robocze i wyświetlanie przepływu oraz operacje ustawiania za pomocą zasilającego wyświetlacza zasilającego.

Użyj i funkcje

MFC odgrywa ważną rolę w badaniach naukowych i produkcji w wielu dziedzinach, takich jak półprzewodnikowy przemysł mikroelektroniczny, rozwój specjalnych materiałów, przemysł chemiczny, przemysł naftowy, medycyna, ochrona środowiska i próżnia.

Typowe zastosowania obejmują: elektroniczny sprzęt procesowy, taki jak dyfuzja, utlenianie, epitaksja, CVD, trawienie plazmowe, rozpylanie, implantacja jonów; i urządzenia do powlekania próżniowego, chromatografy gazowe i inne instrumenty analityczne.

Kontroler przepływu masowego i przepływomierz masowy o wysokiej dokładności, dobrej powtarzalności, szybkości szybkiego reagowania, miękkiego startu, stabilnego i niezawodnego zakresu ciśnienia roboczego (który może pracować w warunkach wysokiego ciśnienia lub próżni), operacja jest łatwa w użyciu. MFC można zainstalować w dowolnej pozycji i jest połączony z komputerem, aby uzyskać automatyczną kontrolę.

Przepływomierz dzieli się generalnie na następujące typy:

1. Przepływomierz wolumetryczny

Wykorzystuje on mechaniczny element pomiarowy do ciągłego dzielenia płynu na jedną znaną część objętościową. Objętościowy przepływ płynu mierzy się w zależności od liczby razy objętości płynu napełnianego i wyładowywanego jeden po drugim kolejno od komory pomiarowej.

2. Przepływomierz pływakowy (przepływomierz wirnika)

Przepływomierz typu pływakowego jest rodzajem przepływomierza o zmiennym obszarze, w pionowym stożku od góry do dołu, okrągły przekrój grawitacji pływakowej jest podtrzymywany przez moc cieczy, tak że pływak może być swobodny w stożku Wznoszenia i opadania.

3. Przepływomierz różnicy ciśnień

Jest on oparty na różnicy ciśnień wytwarzanych przez detektor przepływu zainstalowany w rurze, stanie znanego płynu i miernika w celu obliczenia przepływu między rurą a rurą.

4. Vortex uliczny przepływomierz (VSF)

Niestrampowy generator wirowy jest umieszczany w płynie, a płyn jest naprzemiennie rozdzielany po obu stronach generatora, aby uwolnić dwie serie regularnie wirowanych instrumentów wirowych.

5. Przepływomierz turbinowy

Jest to główny typ przepływomierza prędkości. Wykorzystuje wirnik z wieloma łopatami (turbina), aby wykryć średnią prędkość płynu, i odejmuje instrument objętości przepływu lub całkowitej ilości.

6. Przepływomierz ultradźwiękowy

Jest to pomiar przepływu przez pomiar wpływu przepływu płynu na wiązkę ultradźwiękową (lub impuls ultradźwiękowy).

7. Przepływomierz elektromagnetyczny

Przepływomierz elektromagnetyczny jest rodzajem przyrządu do pomiaru przewodnictwa cieczy zgodnie z prawem indukcji elektromagnetycznej Faradaya.

8. Termiczny przepływomierz masowy

Czujnik termometru zawiera dwa czujniki, czujnik prędkości i czujnik temperatury. Mogą automatycznie kompensować i kalibrować zmianę temperatury gazu. Elektryczna część grzewcza przyrządu podgrzała czujnik prędkości do pewnej wartości wyższej niż temperatura warunków pracy, tak że powstała stała różnica temperatur pomiędzy czujnikiem prędkości i czujnikiem w stanie temperatury roboczej. Gdy różnica temperatur jest utrzymywana na stałym poziomie, energia zużywana przez ogrzewanie elektryczne jest proporcjonalna do masowego natężenia przepływu gazu i jest odpowiednia do pomiaru pojedynczego gazu i ustalonej proporcji wieloskładnikowego gazu.