Wprowadzenie stronniczości

Napięcie polaryzacji odnosi się do ujemnego napięcia przyłożonego do podłoża podczas procesu powlekania. Dodatnia końcówka zasilania polaryzacyjnego jest podłączona do komory próżniowej, a komora próżniowa jest uziemiona. Zacisk ujemny napięcia polaryzacji jest połączony z obrabianym przedmiotem. Ponieważ napięcie ziemi jest ogólnie uważane za potencjał zerowy, napięcie na obrabianym przedmiocie jest ujemne, określane jako odchylenie.

1. Funkcja negatywnego nastawienia

◆ Zapewnij energię cząstki;

◆ Efekt ogrzewania na podłożu;

◆ Usunięcie gazu i tłustych zabrudzeń zaadsorbowanych na podłożu korzystnie poprawia wytrzymałość folii;

◆ Aktywuj powierzchnię podłoża;

◆ Dla dużych cząstek w powłoce jonowej ma działanie oczyszczające.

2. Klasyfikacja napięcia polaryzacji

(1) Zgodnie z przebiegiem można podzielić na:

Obciążenie DC   Obwód impulsowy DC

Obciążenie prądem stałym DC. Obwód tętna bipolarnego

(2) Zgodnie z potrzebą przełączania wysokiego i niskiego napięcia, kiedy energia jest używana, można ją podzielić na:

Schemat mocy przełączania wysokiego napięcia i niskiego napięcia

Nie ma potrzeby przełączania bezstopniowej regulacji ciągłej o wysokim i niskim napięciu

Regulowane parametry zasilania polaryzacji: amplituda obciążenia, współczynnik wypełnienia, częstotliwość i kształt fali.

3. Charakterystyka zasilania polaryzacyjnego

◆ Liczba wygaszania łuku na minutę.

◆ Wykrywanie czułości dużych łuków (wykrywalna energia łuku mJ / kW).

4. Charakterystyka obciążenia dla obciążenia

Obciążenie robocze biasu jest plazmą, a plazma wykazuje oporność, gdy stosuje się polaryzację DC. Po drugie, gdy stosuje się pulsacyjne odchylenie, plazma wykazuje oporność + pojemnościową, którą można uznać za szeregowe połączenie rezystorów i kondensatorów. Istota kapacytancji jest spowodowana przez osłonę plazmową na podłożu.