Wprowadzenie metody operacji maszyny do powlekania próżniowego

Maszyny do powlekania próżniowego jest instrumentem powłoki, który musi działać w większe podciśnienie. Jest on podzielony na dwa rodzaje parowania i rozpylania.

Proces powlekania parowania jest ogólnie ogrzewanie docelowe materiał, co powoduje, że komponenty powierzchni materiału odparowywany przez atomowej lub formularz ion i osadzają się na powierzchni podłoża, tworząc cienką warstwę przez proces filmu formacji.

Rozpylania powłoka może być po prostu rozumieć jako elektronów lub wysokich energii lasera do bombardowania cel i zrobić komponenty powierzchni docelowej będzie rozpylanie w formie atomów lub jonów i ostatecznie osadza się na powierzchni podłoża, tworząc cienką warstwę poprzez proces powstawania filmu.

Wykonaj kroki:

1. operacja Metoda elektromechaniczne sterowniczej do powlekania próżniowego

(1) Otwórz źródło wody pompy i powietrza.

(2) Włącz zasilanie.

(3) Otwórz zasilanie pompy gospodarstwa i miernik próżni, podciśnienie pozycja V1, czekać na jej wartość mniejszą niż 10, a następnie wprowadź następnej operacji. Chyba potrzebuje pięć minut.

(4) Włącz mechaniczne pompy, wykonać wstępnie pompowania, otworzyć źródło zasilania Pompa turbo i uruchomić pompę molekularnej. Przełącznik podciśnienie jest zmieniana na pozycji V2. Po stopnia próżni jest pompowana do mniej niż 2, przestać pompowania, i to trwa 20 minut.

(5) w przypadku gdy odczyty turbiny pompy molekularne są przestrzegane, aby dotrzeć do 250, pompowania pre jest ZAMKNIĘTA, Otwórz pompy i wysokiej próżni zawory w dalszym ciągu ewakuacji. Tylko po próżni osiągnie 2 × 10-3, można włączyć zasilacz elektroniczny działa.

2. funkcjonowanie maszyny do powlekania próżniowego

(1) Włącz zasilanie.

(2) w tym samym czasie otworzyć elektronicznej kontroli broni I i II zasilanie: według elektroniczny kontroli broni I zasilania, wyłącznik czasowy, a następnie lekkie opóźnienie, zasilanie lampy i ochrony światła, światła. Po trzy minuty opóźnienia światła i ochrony lampy należy wyłączyć. Jeśli tylne drzwi nie jest ZAMKNIĘTA lub przekaźnik przepływu jest uszkodzony, światło ochrony zawsze będzie się na.

(3) wysokie ciśnienie będzie osiągnąć więcej niż 10KV, Ustaw wi¹zkê do o 200mA Otwórz wysokiego ciśnienia, i siatka Tarcza jest 20V / 100mA, żarnika 1.2a bieżącego, bieżącego ugięcia swing 1 ~ 1.7.

3. zamknięcia sekwencji maszyny do powlekania próżniowego

(1) Wyłącz miernik strój i pompa.

(2) w przypadku gdy pompy molekularne pokazuje do 50, wysoki Zawór próżniowy, pomp i pompy mechaniczne są zamknięte w sekwencji. Chyba potrzebuje 40 minut.

(3) w przypadku gdy pompa pokazuje mniej niż 50, blisko pompy gospodarstwa.