Technologia powlekania magnetronowego średniej częstotliwości

Technologia powlekania magnetronowego średniej częstotliwości

Rozpylanie magnetronowe obejmuje wiele typów. Każdy ma inną zasadę działania i zastosowany obiekt. Mają jednak jedną wspólną cechę: używają pól magnetycznych do interakcji z elektronami, powodując ich spiralę wokół powierzchni docelowej, zwiększając prawdopodobieństwo, że uderzą w argon, aby wytworzyć jony. Wytworzone jony zderzają się z powierzchnią docelową pod wpływem pola elektrycznego i rozpryskują materiał docelowy. W ostatnich dziesięcioleciach rozwoju ludzie stopniowo przyjmują magnesy trwałe, rzadko magnesy cewkowe.

Źródło docelowe jest podzielone na zrównoważoną i niezrównoważoną, zrównoważoną docelową powłokę źródła jednolitej, niezrównoważonej warstwy powłoki docelowego źródła powłoki i siły wiązania matrycy jest silna. Zrównoważone źródła docelowe są najczęściej stosowane w półprzewodnikowych foliach optycznych, podczas gdy niezrównoważone cele są najczęściej stosowane w zużytych foliach dekoracyjnych.

Bez względu na równowagę lub nierównowagę, jeśli magnes jest nieruchomy, jego charakterystyka pola magnetycznego określa, że ogólny stopień wykorzystania materiału docelowego jest mniejszy niż 30%. Aby zwiększyć stopień wykorzystania celu, można użyć wirującego pola magnetycznego. Jednak wirujące pole magnetyczne wymaga mechanizmu obrotowego, a szybkość rozpylania powinna zostać zmniejszona. Obracające się pole magnetyczne jest najczęściej używane do dużych lub wartościowych celów. Takie jak rozpylanie folii półprzewodnikowej. W przypadku małego sprzętu i ogólnego wyposażenia przemysłowego, użycie statycznego źródła pola magnetycznego.

Rozpylanie metali i stopów za pomocą magnetronowego źródła docelowego jest łatwe, a zapłon i rozpylanie są łatwe. Dzieje się tak, ponieważ cel (katoda), plazma i spryskane części / wnęka próżniowa mogą tworzyć pętlę. Ale jeśli izolator rozpylania, taki jak ceramika, jest uszkodzony. Tak więc ludzie korzystają z zasilacza wysokiej częstotliwości, obwód dodaje bardzo silną pojemność. W ten sposób cel staje się kondensatorem w izolowanym obwodzie. Jednak zasilanie prądem o wysokiej częstotliwości z rozpylaniem magnetronowym jest kosztowne, szybkość rozpylania jest bardzo mała, a technologia uziemienia jest bardzo złożona, więc trudno jest ją stosować na dużą skalę. Aby rozwiązać ten problem, wynaleziono rozpylanie reaktywne magnetronu. Jest to metalowy cel z argonem i dodanymi gazami reaktywnymi, takimi jak azot lub tlen. Gdy metalowy cel zderza się z częścią, łączy się z gazem reakcyjnym, tworząc azotki lub tlenki z powodu konwersji energii.

Magnetronowe reaktywne izolatory rozpylające wydają się łatwe, ale są trudne w obsłudze. Głównym problemem jest to, że reakcja zachodzi nie tylko na powierzchni części, ale także na anodzie, powierzchni komory próżniowej i powierzchni źródła docelowego. Powoduje to, że gaszenie pożaru, źródło docelowe i łuk powierzchni przedmiotu obrabianego i tak dalej. Technologia bliźniaczych źródeł docelowych wynaleziona przez Niemcy laibao dobrze rozwiązuje ten problem. Zasada jest taka, że para źródeł docelowych to anoda i katoda, aby wyeliminować anodowe utlenianie powierzchni lub azotowanie.

Chłodzenie jest konieczne dla wszystkich źródeł (magnetron, multi-arc, ion), ponieważ duża część energii jest przekształcana w ciepło, które, jeśli nie zostanie ochłodzone lub nie schłodzone wystarczająco, stopi całe źródło docelowe w temperaturze wyższej niż tysiąc stopni.

Magnetyczne urządzenie sterujące jest często bardzo drogie, ale ludzie wydają pieniądze na inne urządzenia, takie jak pompa próżniowa, MFC, pomiar grubości folii i ignorują źródło docelowe. Dobre urządzenie rozpylające magnetron bez dobrego źródła docelowego jest jak rysowanie smoka bez punktu.

Zalety rozpylania o średniej częstotliwości są gładkie i gęste, wysoka twardość warstwy folii, liniowy wzrost grubości folii, nietoksyczny, łagodny wzrost temperatury, ale wymagania sprzętowe są wysokie, zakres ciśnienia roboczego jest bardzo wąski i różne sterowanie wymagania są szybkie i dokładne.

Napylanie wielodyskowe stosowało małe napięcie i duży prąd na materiale docelowym w celu jonizacji materiału (dodatnio naładowane cząstki), uderzając w substrat (naładowany ujemnie) z dużą prędkością i osadzając, tworząc gęstą, twardą warstwę filmu. Stosowany głównie do folii odpornych na zużycie i korozję. Wadą jest to, że folia nie jest jednolita, kawitacja i ablacja.

Zasada rozpylania częstotliwości pośredniej z ogólnym rozpylaniem prądu stałego jest taka sama, różnica polega na rozpylaniu dc cylindra, gdy anoda, a rozpylanie częstotliwości pośredniej odbywa się w parach, beczka niezależnie od tego, czy występuje, zależy od ogólnego projektu, i całego procesu rozpylania całego systemu, układ anody, katody, istnieje wiele sposobów uczestniczenia w proporcji cyklu, można uzyskać różne sposoby różnej wydajności rozpylania, nie są tą samą gęstością jonów

Główną technologią rozpylania jest projektowanie i zastosowanie zasilania. Obecnie fala sinusoidalna i impulsowa fala prostokątna to dwa rodzaje trybów wyjściowych, które mają swoje zalety i wady. Po pierwsze, należy rozważyć typy warstw folii, aby przeanalizować, jaki typ trybu wyjściowego zasilacza jest odpowiedni dla danej warstwy folii.

Rozpylanie częstotliwości pośrednich jest również rodzajem rozpylania magnetronowego, ogólnego projektu celu rozpylania magnetronowego, projektowanie pola magnetycznego jest kluczem różnych technologii, międzynarodowy kilku słynnych producentów celu rozpylania, ponieważ projektowanie docelowego pola magnetycznego jest profesjonalne, zmiana projektu pola magnetycznego może spowodować różne parowanie plazmy. Ścieżka elektronu, dystrybucja plazmy, podobnie jak techniczne tajemnice rozpylania docelowego pola magnetycznego.

Jeśli chodzi o łuk katodowy (tj. Platerowanie jonowe), rozpylanie magnetronowe i parowanie tygla, wszystkie należą do PVD (fizyczne osadzanie z fazy gazowej), parowanie tygla jest głównie zmianą fazy, a cel parowania ma tylko kilka woltów energii. Dlatego przyczepność folii jest mała, ale wysoka szybkość osadzania, najczęściej stosowana do powlekania optycznego. W rozpylaniu magnetronowym, jony argonu uderzają w materiał docelowy, aby odłożyć fragmenty atomowe i molekularne na części, a energia kinetyczna materiału docelowego może osiągnąć setki, a nawet tysiące woltów elektronowych. Jest to prawdziwie neutralna nanopoziomowa powłoka. Po wyładowaniu łukowym katody, z jednej strony, metalurgia materiału jest topiona przez powierzchnię docelową w wysokiej temperaturze, a następnie stopiony materiał jest prawie całkowicie zjonizowany przez silne pole elektryczne, a folia powstaje w wyniku połączonego działania docelowego źródła zasilania i ciśnienia cząstkowego części. Wygląda na to, że poszycie łuku katodowego jest bardziej zaawansowane, właściwie nie. Po pierwsze, proces topienia powierzchni docelowej jest przypadkowy i niekontrolowany, a jony są osadzane w częściach. Jednorodność i gładkość poszycia są trudne do zagwarantowania. Ogólnie mówiąc, powlekanie łukiem katodowym jest procesem spawania w próżni. Zasada zasilania łukiem katodowym i zasilanie spawalnicze są bardzo podobne. Technologia łuku katodowego pochodzi głównie z byłego Związku Radzieckiego. Jest popularny w Chinach z różnych powodów. Ale technologia się poprawia. W ostatnich latach technologia łuku katodowego do filtracji rozwinęła się bardzo szybko, co pozwala uniknąć nierównomiernego tworzenia się filmu. Jednak niektóre zyski muszą zostać utracone, a filtracja zmniejsza szybkość osadzania i zwiększa koszt sprzętu.

Rozpylanie magnetronowe o średniej częstotliwości wymaga wysokiego celu i projektu pola magnetycznego, a także ciśnienia roboczego. Rozpylanie magnetronowe o średniej częstotliwości wynosi 2 do 3 razy w stosunku do szybkości osadzania rozpylania magnetronowego prądu stałego. Rozpylanie magnetronowe średniej częstotliwości jest stosowane dla dwóch celów do przygotowania filmów złożonych. Z powodu niskiej szybkości jonizacji trudno jest znaleźć optymalny punkt zatrucia, a kontrola przepływu gazu roboczego jest bardzo ścisła. Jeśli kontrola nie jest dobra, trudno jest przygotować jednorodną i dobrą warstwę adhezyjną. A konstrukcja polega głównie na równomierności rozkładu pola magnetycznego pola magnetycznego, które może poprawić stopień wykorzystania materiału docelowego, więc oprócz stabilności najlepszego zatrucia niektóre prace mają również wiele do poprawy magnetronowej energii rozpylania jonów i dyfrakcji daleko poniżej powierzchni celu łuku, a odległość przedmiotu obrabianego jest ważna, zbyt bliskie bombardowanie artefaktów jonami może uszkodzić warstwę membrany, zbyt daleko, odchylenie od optymalnej siły wiązania powłoki rozpylającej przygotowania odległości jest bardzo słabe

Materiał docelowy if jest używany dla celu, niektóre z nich są używane dla trzech par. Cel jest stosunkowo duży, jak na przykład, jeśli większość z nich jest używana do metalowych przedmiotów obrabianych. Taki piec próżniowy jest generalnie większy, co może odłożyć wiele zadań, a warstwa powleczonej folii jest bardziej gęsta.

Interesująca jest maszyna do napylania magnetronowego średniej częstotliwości, skontaktuj się z IKS PVD teraz, iks.pvd @ foxmail.com

Czy jeśli rozpylanie działa w niskiej próżni? Nie ma problemu. Nasz aktualny harmonogram to 8,0 * 10-2 pensów.

Jakie są czynniki wpływające na kolor folii TiN, jeśli rozpylanie? Jaki jest wpływ uprzedzeń na L, a i b?

Odchylenie ma wiele wspólnego z kolorem,

Wpływ ciśnienia gazu rozpylającego (argonu) na wartości L, aib?

Ten problem jest skomplikowany, co wiąże się z szybkością jonizacji, ciśnieniem i trybem połączenia odległości docelowej. Systematyzowanie bardzo jasnych danych może zająć dużo czasu. Należy powiedzieć, że gaz rozpylający i kolor są określane przez ilość wytwarzanego rozpylania, która wpływa na związek z gazem reakcyjnym i ma wpływ na kolor

Czy możliwe jest użycie amoniaku w rozpylaniu reaktywnym? Tak.