Rozpylanie jest ukierunkowane na główną aplikację

Cel rozpylania jest wykorzystywany głównie w przemyśle elektronicznym i informacyjnym, takim jak układ scalony, wyświetlacz ciekłokrystaliczny, magazyn informacji, pamięć laserowa, elektroniczne urządzenia sterujące itp .; może być również stosowany w dziedzinie powlekania szkła; może być również stosowany w materiałach odpornych na wysokie temperatury, odpornych na korozję, produktach dekoracyjnych wysokiej jakości i innych gałęziach przemysłu.

Zgodnie z klasyfikacją kształtu można podzielić na długi cel, cel, koło docelowe, profil docelowy można podzielić na cele metalowe, materiał docelowy stopu, cel ceramiczny złożony według różnych zastosowań i podzielony na ceramiczny półprzewodnikowy cel, nośnik zapisu, wyświetlanie ceramicznego celu ceramicznego, nadprzewodzącego ceramicznego materiału docelowego i ceramicznego celu gigantycznej magnetooporności według dziedziny zastosowania celu, celu, celu, magnetycznych dysków rejestrujących z celownika cienkowarstwowego z metalu szlachetnego, celu, celu, warstwy folii przewodzącej, maski modyfikującej cel , cel, cel, cel, cel pakietu elektrod dekoracyjnych, cel rozpylania magnetronowego, zasada: zgodnie z kompozycją w celu rozpylania (katoda) i ortogonalnym, pole magnetyczne i pole elektryczne i anoda, w komorze o wysokiej próżni wypełnionej potrzebne gazy obojętne (zwykle Ar), magnes stały od 250 do 350 Gaussów pole magnetyczne na powierzchni materiału docelowego Ortogonalne pole elektromagnetyczne składa się z pola elektrycznego wysokiego napięcia. Pod wpływem pola elektrycznego, jonizacja gazu Ar na jony i elektrony, cel z wysokim napięciem ujemnym i gaz roboczy pod działaniem pola magnetycznego od celu elektronicznego z prawdopodobieństwa jonizacji wzrasta, powstanie osocza o wysokiej gęstości w pobliżu katody, rola jonów Ar w sile Lorentza pod przyspieszonym w kierunku powierzchni celu. Przy bardzo dużej prędkości bombardującej powierzchni docelowej, celem były napylone atomy podążające za zasadą konwersji pędu o wysokiej energii kinetycznej od powierzchni docelowej do osadzanej warstwy filmu. Rozpylanie magnetronowe jest generalnie podzielone na dwa typy: rozpylanie rozgałęzione i rozpylanie promieniami elektromagnetycznymi, w których rozpylanie gałęzi jest zasadniczo proste i szybkie w napylaniu metalu. Rozpylanie RF może być stosowane szerzej, oprócz rozpylania materiałów przewodzących, ale także rozpylania materiałów nieprzewodzących, ale również reaktywnego rozpylania w celu przygotowania tlenków, azotków i węglików i innych związków. Jeśli częstotliwość RF wzrośnie, stanie się to rozpylaniem mikrofalowym w osoczu, zwykle za pomocą rozpylania plazmowego z elektronowym rezonansiem cyklotronowym (ECR).

Cel powłoki rozpylania magnetronowego:

Cel rozpylania stopu metalu, cel rozpylania, rozpylanie tarczy ceramicznej, boretyna ceramiczny napylanie węglika sproszkowany ceramiczny fluorek napylanie ceramiczne azotek ceramiczne napylanie ceramiczne celowanie rozpylanie, selenki napylanie ceramiczne natlenienie ceramiczne rozpylanie siarczkowe napylanie ceramiczne telluride napylanie ceramiczne inne cele ceramiczne, domieszkowane chromem tlenek krzemu ceramika cel (Cr-SiO), fosforek indu (InP), cel arsenu ołowiu (PbAs), cel InAs (InAs).

Cel rozpylania o wysokiej czystości i wysokiej gęstości ma:

Cel rozpylania (czystość: 99,9% -99,999%)

1. cel metalowy:

Cel, Ni, nikiel tytanowy cel, Ti, Zn, Cr, Zn, Mg, Cr, docelowy Mg, cel Nb, cel, cel niobu cyny, Sn, cel aluminiowy i cel Al, In, cel żelaza i indu, Fe, target , ZrAl, Zr Al Ti i Al, TiAl, cel z cyrkonem Zr, AlSi, cel krzemowy z aluminium krzemowego, cel Si, cel Cu, cel T miedzi, cel tantalu, Ge, a, Ge, Ag, cel srebra kobaltowego, Co , Au, Gd, cel złota, cel Gd, cel La, cel itru, lantan, cer, cel, Ce, Y cel wolframu, W, stal nierdzewna, cel nikiel chrom, cel i Hf, NiCr, cel hafnu molibden i Mo cel, FeNi, żelazo-nikiel, cel wolframu, cel rozpylania metalu W.

2. cel ceramiczny

Cel ITO i AZO, tlenek magnezu, cel, cel, cel azotku krzemu tlenku żelaza, azotek tytanu, cel węglik krzemu docelowy cel, tlenek cynku chrom, siarczek cynku, cel krzemionki, docelowy tlenek krzemu, cel tlenku ceru, cel dwa cele i pięć dwa tlenek cyrkonu, dwutlenek tytanu, cel niobowy dwa cel z dwutlenku cyrkonu i cel tlenku hafnu, celują dwa borek cyrkonu, diborek tytanu tytanu, cel tlenku wolframu, target, cel, cel pięć trzy dwa utlenianie tlenku glinu z dwóch tlenku tantalu pięć, dwa niobu cel, cel, docelowy fluorek itru, fluorek magnezu, selenek cynku cel target azotek aluminium, cel azotek krzemu, azotek boru azotek tytanu węglik krzemu cel, cel, cel. Cel, cel, tytanian litu, tytanian prazeodymu, tytanian baru, tytanian lantanu i cel tarcza ceramiczna z tlenkiem niklu.

3. Cel stopu

Cel dla stopu Ni Cr, cel ze stopu niklu wanadowego i cel stopu aluminium z silikonu i cel ze stopu miedzi niklowej, stop tytanu ze stopu aluminium, cel dla stopu niklu wanadowego i cel dla stopu boru, cel ze stopu żelazokrzemowego o wysokiej czystości z rozpylaniem stopu.