Analiza zdolności przenoszenia mocy magnetronowych celów rozpylania
May 24, 2018| 1. Obszar docelowy i zakres mocy obciążenia
(1) Gęstość mocy okrągłego planarnego celu magnetronowego wynosi ogólnie 1 ~ 25w / cm 2
(2) Gęstość mocy prostopadłościennego planarnego celu magnetronowego wynosi 1 ~ 36w / cm 2
(3) Gęstość mocy kolumnowego celu magnetronowego i stożkowego płaskiego celu magnetronowego (pistolet S) wynosi zazwyczaj 40 ~ 50w / cm2.
2. Rzeczywista siła nośna celu magnetronowego
Oprócz technologii rozpylania i wymagań jakości folii, faktyczna moc nośna celu magnetronowego jest również ściśle związana z warunkami chłodzenia i warunkami rozpraszania ciepła celu.
Cele magnetronu można podzielić na dwa rodzaje: "cel bezpośredniego chłodzenia wody" i "cel pośredniego chłodzenia wodnego" oparty na metodzie chłodzenia.
Biorąc pod uwagę starzenie się celu po długim użytkowaniu, jego warunki rozpraszania ciepła są złe, a biorąc pod uwagę różne współczynniki przenikania ciepła różnych materiałów docelowych, docelowa moc obciążenia celu magnetronowego i faktyczna maksymalna moc bezpośredniego celu chłodzenia wodą może być ustawiony nieco mniej niż górny limit zakresu gęstości mocy. Rzeczywiste maksymalne obciążenie pośredniego celu chłodzenia wodnego można ustawić o około połowę górnej granicy zakresu gęstości mocy.
Kiedy magnetron jest celowany (głównie Cu, Ag, Brass i Al Bronze) "samo-rozpylający", zwykle wykorzystuje cel rozpylania magnetronu, który jest specjalnie zaprojektowany do "bezpośredniego chłodzenia wodą". Ostateczna nośna do wykorzystania musi być większa niż górna granica docelowego zakresu gęstości mocy.