Krótkie wprowadzenie powłoki PVD Sputtering systemu i System kontroli

System rozpylania

System rozpylania jest rdzeniem powłoka PVD, który składa się zcelów, miejsce doceloweZasilaniei gazu. Istnieje wiele rodzajów zasilania docelowego i pochodzą one w kilku odmian, jak poniżej:

1. zgodnie ztryb wyjścia, istniejąZasilanie prądem stałym, Zasilacz AC(fala sinusoidalna, square wave),Zasilanie impulsoweiZasilacz DC nałożony puls;

2. zgodnie zczęstotliwość wyjściowa, istniejąZasilanie prądem stałym, niska częstotliwość źródła zasilaniaiŚrednia częstotliwość źródła zasilania;

3. zgodnie zZasilanie, istnieją niskiego zasilania, medium-zasilacz, wysokiej mocy zasilania i super-zasilanie;

4. zgodnie ztryb sterowania, Źródło zasilania prądu stałego, stałego napięcia zasilania i stałego zasilania.

System sterowania

System kontroli jest duszą całego urządzenia, kontroli działania całego systemu. System kontroli składa się z systemu operacyjnego, system gromadzenia danych, system analizy danych i systemu przesyłowego executive i tak dalej. Zbiera system zbierania danych, przepływ (steam), próżniowo-ciśnieniowej, prędkość obrotowa silnika, pozycja zaworu, i innych informacji. Poza tym system operacyjny oprogramowanie i system analizy danych są PLC, w większości przypadków. Ponadto systemu przesyłowego Wykonawczy składa się z różnych przekaźniki, styczniki, zawory elektromagnetyczne, przełączniki, itp.