Charakterystyka i Klasyfikacja Ultra wysokiej próżni jednostek

Cleczniczego i klasyfikacji ultra wysokiej próżni jednostek

IKS PVD, PVD próżniowe powłoka maszyna produkcji, skontaktuj się z nami teraz, iks.pvd@foxmail.com, aby uzyskać więcej informacji o maszynie.

Ultra-wysokiej podciśnieniowe pracę o więcej niż 10^-5PA ma dyfuzji pompy, pompa wysokiej próżni jednostek i ultra-wysokiej bezolejowe próżniowe jednostek. Jednostki mają następujące cechy:

1. wysoki ostateczny stopień próżniowe pompy głównej, 10^-7~ 10^-8PA powyżej;

2.Może wytrzymać wysokie temperatury 200 ~ 450℃do pieczenia;

3.Ciśnienie parcjalne gazu zalewania pompy głównej jest bardzo niska;

4. w odniesieniu do selektywności pompowanego gazu pompy główne być wyposażone w duży wystarczająco pompą pomocniczą;

5. wymagania komory próżniowej, rura, zawór i inne składniki stawki materiał wyjściowy jest bardzo niski, tempo przecieków jest bardzo małe.

(1) ultra-wysokiej próżni jednostka pompy dyfuzyjne

Pompa dyfuzyjna jako priorytet pompy w jednostce ultimate próżniowe, ultra wysokiego stopnia próżni jest 10-7 ~ pa 10-8.

Aby zmniejszyć z pompa dyfuzyjna przed poziom dyfuzji gazów i blokowanie mechaniczne pompy oleju anty efekt dyfuzji na próżnię końcową, ale przed dyfuzji poziom pompa wpisz małych prędkości pompowania pompy dyfuzyjnej, aby zmniejszyć stopień kompresji , zmniejszenie dyfuzji jak na wlocie pompy dyfuzji, również dodanie tytanu sublimacji powyżej pozwala zredukować ciśnienie parcjalne azotu z pompa dyfuzyjna, można dostać 10 do 11 pa ultra wysokiej próżni.

(2) pompa ultra wysokiej próżni jednostki

Ultra wysoka jednostki próżniowej z pompy molekularne jako główna pompa ma maksymalnego stopnia próżni 10-8pa, który charakteryzuje się szybkim rozruchu i małe tankowca. Ponadto ciekłym azotem zimno dobrze można dodać do urządzenia, aby zwiększyć wydajność pompowania. Zimnej wody również można ustawić na wylocie pompy mechaniczne uniemożliwić wprowadzanie systemu oparów oleju.

(3) olej wolne ultra wysokiej próżni jednostki

Urządzenia próżniowe, które należy używać oleju jako cieczy roboczej i nie są zamknięte z materiałów organicznych są znane jako pompy główne, powszechnie stosowane w oleju bez ultra-wysokiej próżni jednostek, takich jak pompy kryogenowe, pompy tytanu, rozpylania pompy jonowej, itp., które można uzyskać ostateczny próżniowe stopień 10^-7~ 10^-8PA. W porównaniu z zawierające olej urządzenia próżniowe, ma następujące zalety:

(1) czyste próżni bez źródeł zanieczyszczeń mogą być uzyskane;

2) rozpoczęcie bezolejowe pompy próżniowej, wstępnie pompowania pompy mogą być izolowane;

3) Jeśli pompowania zatrzymuje się nagle, system nie będzie zanieczyszczona;

4) brak oleju, brak wibracji, poprawa warunków pracy;

(5) górny limit próżni pompowania wysokie prędkości, krótki czas pompowania.