Źródła powłok parujących mają trzy typy
May 19, 2021| Źródła powłoki parowaniamiećtrzy rodzaje.
(1) źródło ogrzewania oporowego: z metalami ogniotrwałymi, takimi jak wolfram, tantal wykonany z folii lub włókna, poprzez prąd, ogrzewanie w nim powyżej lub umieszczone w materiale odparowującym tygiel, źródło ogrzewania oporowego służy głównie do odparowywania Cd, Pb , Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni i inne materiały;
(2) źródło nagrzewania indukcyjnego wysokiej częstotliwości: tygiel nagrzewający prąd indukcyjny wysokiej częstotliwości i substancje odparowujące;
(3)Źródło ogrzewania wiązki elektronów: odpowiednie do wysokiej temperatury parowania (nie mniej niż 2000 [618-1]) materiału, to znaczy materiału do bombardowania wiązką elektronów, aby wyparować.
W porównaniu z innymi metodami powlekania próżniowego, powlekanie przez odparowanie ma wyższą szybkość osadzania i może być stosowane do wytwarzania warstw złożonych z substancją pierwiastkową i trudnym rozkładem termicznym.
W celu osadzania filmów monokrystalicznych o wysokiej czystości można zastosować epitaksję z wiązki molekularnej. Urządzenie do epitaksji z wiązek molekularnych domieszkowanej wzrostem warstwy monokrystalicznej GaAlAs. Piec strumieniowy wyposażony jest w źródło wiązki molekularnej. Po podgrzaniu do określonej temperatury w ultrawysokiej próżni elementy w piecu wystrzeliwują do podłoża w strumieniu molekularnym. Gdy podłoże zostanie podgrzane do określonej temperatury, cząsteczki osadzone na podłożu mogą migrować i rosnąć kryształy zgodnie z uporządkowaniem sieciowym podłoża. Jednokrystaliczne błony o wysokiej czystości, o pożądanym stosunku stechiometrycznym, można otrzymać metodą epitaksji z wiązek molekularnych. Najwolniejsze tempo wzrostu folii można kontrolować przy 1 monowarstwie/sekundę. Kontrolując przegrodę, można precyzyjnie wykonać żądany skład i strukturę cienkiej warstwy monokryształu. Epitaksja z wiązki molekularnej jest szeroko stosowana w produkcji różnych zintegrowanych urządzeń optycznych i folii o strukturze supersieci

Firma IKS PVD, maszyna do powlekania dekoracyjnego, maszyna do powlekania narzędzi, maszyna do powlekania optycznego, linia do powlekania próżniowego PVD, projekt pod klucz jest dostępny.Skontaktuj się z nami, e-mail: iks.pvd@foxmail.com


