Czynniki wpływające na szybkość rozpylania

Czynniki wpływające na szybkość rozpylania

1. Rodzaje cząstek padających
Im większa masa padającej cząstki, tym wyższa szybkość rozpylania

2. Energia padającego jonu
Gdy padająca cząstka przekroczy próg rozpylania, gdy energia padającej cząstki wzrasta,
Przed mniej niż 150eV szybkość rozpylania jest proporcjonalna do kwadratu energii padającej cząstki,
Zmiana nie jest oczywista w zakresie 150-10 kev,
Energia padająca nadal rośnie, współczynnik rozpylania wykazuje tendencję spadkową

3. Kąt padania
Kąt padania wynosi 0-60 °, a szybkość rozpylania wzrasta wraz z kątem
Szybkość rozpylania gwałtownie spadnie, jeśli maksymalny kąt padania będzie nadal wzrastał
Kąt padania wynosi 90 °, a szybkość rozpylania wynosi 0

4. Rodzaje i struktury materiałów docelowych
Szybkość rozpylania na ogół wzrasta wraz ze wzrostem liczby atomowej celu .

IKS PVD, rozpylanie próżniowe urządzenia do powlekania, kontakt: iks.pvd@foxmail.com