Sprzęt PECVD Typowe problemy i środki zaradcze — brak świecenia
Jul 01, 2023| Przyczyny i środki leczenia braku blasku:
(1) Jeśli zasilacz RF jest uszkodzony, sprawdź, czy moc wyjściowa źródła RF jest normalna.
(2) Objętość wlotu gazu reakcyjnego jest mała, sprawdź, czy przepływomierz gazu jest normalny, jeśli normalny, zwiększ objętość wlotu do testu.
(3) czystość płyty wnęki nie jest wystarczająca, użyj multimetru do pomiaru rezystancji uziemienia górnej i dolnej płyty wnęki, normalna wartość powinna przekraczać dziesiątki megaomów, jeśli jest nienormalna, wyczyść płytkę wnęki.
(4) Jeśli obwód dopasowujący RF jest uszkodzony, sprawdź, czy moc odbita źródła RF mieści się w normalnym zakresie. Jeśli jest nieprawidłowy, sprawdź, czy kondensator i indukcyjność w obwodzie dopasowującym nie są uszkodzone.
(5) Stopień próżni jest zbyt słaby, sprawdź, czy stopień próżni w komorze jest normalny.
Firma IKS PVD, maszyna do powlekania dekoracyjnego, maszyna do powlekania narzędzi, maszyna do powlekania DLC, maszyna do powlekania optycznego, linia do powlekania próżniowego PVD, projekt pod klucz jest dostępny. Skontaktuj się z nami teraz, e-mail: iks.pvd@foxmail.com
