Quick Judgment of Leaking Area

1. Sprawdź uszczelkę drzwi.

Sprawdź, czy nie ma żadnych uszkodzeń, zanieczyszczeń lub kurzu. Jeśli tak, dokładnie wytrzyj uszczelkę drzwi, a następnie równomiernie nanieś smar wysokopróżniowy.

2. Sprawdź, czy pompa tylna jest uszkodzona.

Metody:  

● Obserwować okno oleju pompy mechanicznej. Poziom oleju jest wysoki, a olej będzie natryskiwany, niski poziom oleju wpłynie na smarowanie, wpłynie na prędkość pompowania układu i spowoduje uszkodzenie urządzenia .

● Obserwuj, czy kolor oleju jest czysty. Jeśli jest czarny, pokazuje, że w komorze pompy znajdują się zanieczyszczenia lub otarcia; jeśli kolor oleju jest biały; pokazuje, że olej chłodzący jest mieszany, wpływa na smarowanie i uszczelnianie oraz wpływa na prędkość pompowania, co prowadzi do gwałtownego spadku wydajności pompowania.

● Sprawdź zawór elektromagnetyczny pompy mechanicznej. Przytrzymaj ręcznie wlot zaworu elektromagnetycznego. Jeśli jest wlot powietrza, zawór jest uszkodzony i należy go wymienić.

● Zmierz czas wstępnego pompowania pompy mechanicznej. W normalnych warunkach stopień podciśnienia wynoszący 3-4 minuty może być pompowany do 10 Pa. Jeśli czas pompowania jest dłuższy, oznacza to, że pompa mechaniczna powoduje powolną prędkość pompowania.

3. Sprawdź pompę dyfuzyjną i piec elektryczny.

● Sprawdź, czy temperatura szafki elektrycznej się zmniejsza, przewód elektryczny jest nienaruszony, a temperatura pieca jest odpowiednia.

● Sprawdź, czy wał główny ramy jest nieszczelny, a podciśnienie mierzone wskaźnikiem sprawdza, czy wycieka.

● Sprawdź zawór próżniowy w górnej części komory próżniowej, aby sprawdzić, czy nie ma wycieków.

Jeśli żadna z powyższych metod nie wykryła obszaru wycieków, konieczne jest wykrycie wycieku z acetonu, spryskanie obszaru, w którym może wystąpić wyciek, sprawdzenie punktu wycieku i rozwiązanie go w porę.