Najlepsze techniki wykrywania nieszczelności do maszyny do powlekania PVD
Apr 16, 2018| Wykrywanie metody bąbelkowej
Wykrywanie metodą pęcherzyków powlekających metodą PVD jest preferowane w przypadku pojemników lub urządzeń do powlekania PVD, które są przetwarzane. Wykrywanie metodą pęcherzykowej detekcji PVD oznacza napełnianie badanej części pewnym gazem wskazującym na wyciek ciśnienia, a następnie umieszczenie testowanej części w cieczy. Gaz dostanie się do otaczającej cieczy przez otwór przeciekowy, tworząc pęcherzyki. A miejscem, w którym znajdują się bąbelki, jest położenie otworu wyciekowego. Co więcej, szybkość wycieku otworu można oszacować na podstawie szybkości tworzenia i wielkości pęcherzyków, a także właściwości fizycznych gazu wskazującego wyciek.
Wykrywanie metody okładki
Metoda krystalizacji Wykrywanie odnosi się do metody, która pokrywa całe urządzenie powlekające PVD plastikową torebką (pokrywką) z etylenu, a następnie napełnianie worka helem, to znaczy cały pojemnik próżniowy jest zanurzony w helu w celu wykrycia nieszczelności. Po całkowitym opróżnieniu gazu należy wyłączyć główny zawór, zawór szorstki i zawór nieszczelności. A następnie użyj miernika próżni jonizacji BA, aby zmierzyć zmianę wzrostu ciśnienia, aby ustalić, czy nie ma wycieku.
Powłoka PVD jest sumą wzrostu ciśnienia spowodowanego wyciekiem gazu i wzrostem ciśnienia spowodowanym przez odgazowanie materiału, a na końcu jest to wzrost liniowy, który jest proporcjonalny do czasu. Kiedy krzywa powlekająca PVD wykazuje taki stan, jak opisano powyżej, oznacza to, że urządzenie przecieka. Kiedy nie ma wycieku i tylko odgazowanie materiału, krzywa powinna być nasycona. Jeśli występuje tylko przeciek bez odgazowywania materiału, jest to linia prosta proporcjonalna do czasu na początku.