Przyczyna nierówności spękanej powłoki magnetronowej

Bez względu na rodzaj maszyny do obliczania próżni, na jednorodność powłok ma wpływ określony czynnik.

Działanie magnetronowej maszyny do powlekania próżniowego polega na tym, że elektrony bombardują jony argonu utworzone przez gaz argonowy, a następnie bombardują cel przez ortogonalne pole magnetyczne w stanie próżni, a jony docelowe osadzają się na powierzchni obrabianego przedmiotu tworząc powłokę. Możemy więc uznać, że stan próżni, pole magnetyczne i argon to trzy aspekty związane z jednolitością grubości warstwy.

Stan próżni jest kontrolowany przez system pompowania powietrza. Każdy port pompowania musi być uruchamiany w tym samym czasie z jednakową siłą, aby zapewnić jednolitość pompowania. Jeśli pompowanie nie jest jednorodne, ciśnienie w komorze próżniowej nie może być jednolite, ponieważ ciśnienie ma pewien wpływ na ruch jonów. Ponadto czas pompowania musi być kontrolowany. Zbyt krótki spowoduje niedostateczną próżnię, ale będzie to strata zasobów, jeśli jest zbyt długa. Ale istnienie próżniomierzy sprawia, że jest to konieczne.

Pole magnetyczne działa ortogonalnie, ale nie jest możliwe, aby natężenie pola magnetycznego było w 100% jednolite. Ogólnie, gdy pole magnetyczne jest silne, grubość folii będzie duża i odwrotnie, więc grubość folii będzie niespójna.

Równomierność doprowadzania gazu argonowego wpływa również na jednorodność warstwy folii. Zasada jest podobna do stopnia podciśnienia. Ze względu na wejście gazu argonowego ciśnienie w komorze próżniowej odpowiednio się zmieni. Jednorodność grubości folii można kontrolować za pomocą jednolitego nacisku.

Chociaż zawsze istnieje kilka czynników, które powodują nierówności folii, ale szybkość przejścia folii jest bardzo wysoka, jeśli zostanie wykonana prawidłowa praca maszyny do powlekania próżniowego.