Układ napędowy i układ chłodzenia urządzeń powłokowych PVD

System napędowy

Układ napędowy umożliwia przepływ substratu z wkładania substratu do urządzenia do osadzania metodą napylania, do opuszczania urządzenia po zakończeniu przetwarzania. Układ napędowy składa się z silnika napędowego, kółka przewijania, przetwornicy częstotliwości i tak dalej. Powody dodania systemu napędowego to:

(1) Upewnij się, że jednolite powłoki grubości są szeroko rozprowadzane.

(2) Łatwa do zrealizowania automatyczna skrzynia biegów.

System chłodzenia

Układ chłodzenia składa się głównie z docelowej pompy molekularnej wody obiegowej, komory, grupy pomp oraz silnika chłodzącego napędzającego obieg wody. Jego główną funkcją jest chłodzenie komory próżniowej, pompy, napędu, źródła zasilania itp. Wymagania dotyczące wody chłodzącej to:

(1) Temperatura: 17 ~ 22 ° C;

(2) Ciśnienie: 2 ~ 3e0,05 Pa;

(3) Cząstki magnetyczne powinny zostać usunięte z wody, a woda powinna zostać zmiękczona, pH = 6 ~ 8.