Wybierz typ jednostki próżniowej
Jun 30, 2018| 1. Skład i klasyfikacja jednostek próżniowych
Jednostka próżniowa składa się z następujących komponentów: różnych pomp próżniowych, urządzeń do pomiaru próżni, zaworów próżniowych, rur próżniowych i innych komponentów, takich jak dmuchawy, złącza próżniowe, zbiorniki magazynujące gaz, miechy, kolektory pyłu i przekaźniki próżniowe.
Zgodnie z ciśnieniem roboczym urządzenia, istnieją chropowate jednostki próżniowe (> 1330Pa), jednostki niskopróżniowe (1330 ~ 0.13Pa), jednostki wysokopróżniowe (0,13 ~ 1,3x10-6Pa), jednostki ultra wysokiego podciśnienia (1,3x10-6) ) ~ 1,3 x 10-11 Pa) i bardzo wysokiego podciśnienia (<1,2 x="" 10-11="">
2. Jednostka niskiego podciśnienia
Głównymi cechami jednostki niskiego podciśnienia są wysokie ciśnienie robocze i duże przesunięcie, ale prędkość pompowania jest niższa niż w jednostce o wysokiej próżni. Stosuje się go głównie do szorstkiego pompowania komory próżniowej i niektórych urządzeń próżniowych wymagających wysokiego ciśnienia roboczego, takich jak jednostki podciśnieniowe, urządzenia do impregnacji próżniowej, jednostki filtrów próżniowych, jednostki odgazowania próżniowego, urządzenia do suszenia próżniowego i tak dalej. Głównymi pompami jednostki niskiego podciśnienia są powszechnie: tłokowe pompy próżniowe, pompy próżniowe z uszczelnieniem olejowym, pompy strumieniowe wody, pompy z rozpylaczem pary wodnej, pompy z pierścieniem wodnym, pompy z rozpylaniem oleju, pompy adsorpcyjne z sitami molekularnymi i pompy Rootsa. W przypadku stosowania jednostki niskopróżniowej konieczne jest również skonfigurowanie komponentów, takich jak kolektor pyłu i filtr suchy, zgodnie z wymaganiami procesu dotyczącymi stopnia czystości i wilgotności gazu przeznaczonego do pompowania.
3. Jednostka wysokiego podciśnienia
3.1 Wybierz główną pompę. Główna pompa może być pompą dyfuzyjną, pompą molekularną, pompą jonową, pompą tytanową, pompą kriogeniczną i tak dalej.
3.2 Wybierz pompę podkładową i rurę magazynującą gaz (wstrząsy, skróć cykl roboczy, zapobiegnij dużemu odpływowi w komorze próżniowej i ustabilizuj ciśnienie wylotowe pompy dyfuzyjnej)
4. Ultra-High Vacuum Unit
Ostateczna próżnia głównej pompy jest wysoka, szybkość wycieku jest niska i jest odporna na pieczenie w temperaturze 200-450 ° C.
4.1 Zespół pompy dyfuzyjnej: ogranicza przepływ wsteczny i zanieczyszczenie kontrolne.
4.2 Jednostka pompy molekularnej: stosunek sprężania do wodoru jest niewielki, a resztkowy gaz to głównie wodór.
4.3 Zespół pompy jonowej jonowej: zwykle stosowany w połączeniu z pompą tytanową.
4.4 Kriogeniczne urządzenie pompujące: brak zanieczyszczeń.