Ultra-wysoki charakter jednostki próżniowej i klasyfikacja

Jednostki ultrawysokiej próżni pracujące powyżej 10-5 Pa zawierają pompę dyfuzyjną, agregat ultra-wysokiego podciśnienia z pompą molekularną i bezolejowe urządzenie o ultrawysokiej próżni. Urządzenie ma następujące cechy:

Maksymalny stopień podciśnienia pompy głównej jest wyższy niż 10-7 ~ 10-8pa.

(2) może wytrzymać wysoką temperaturę 200 ~ 450 ℃ pieczenia;

Ciśnienie cząstkowe gazu powrotnego pompy głównej jest niskie.

W przypadku pompy głównej o wysokiej selektywności musi ona być wyposażona w wystarczająco dużą pompę pomocniczą.

(1) jednostka pompy dyfuzyjnej o ultrawysokiej próżni

Ostateczna próżnia jednostek ultra-wysokiego podciśnienia z pompami dyfuzyjnymi jako pompami głównymi wynosi 10-7 ~ 10-8pa.

W celu zmniejszenia wpływu odwrotnej dyfuzji gazu z przedniego stopnia pompy dyfuzyjnej i wstecznej dyfuzji mechanicznego oleju pompy na ostateczny stopień podciśnienia, można zastosować pompę dyfuzyjną o niższej prędkości pompowania na przednim pompa dyfuzyjna, aby zmniejszyć stopień sprężania i odwrotną dyfuzję. Jeśli pułapka sublimacji tytanowej zostanie dodana do wlotu pompy dyfuzyjnej, ciśnienie cząstkowe azotu z pompy dyfuzyjnej może być dodatkowo zmniejszone i można uzyskać super-wysoką próżnię 10-11 Pa.

(2) jednostka ultra-wysokiej próżni pompy molekularnej

Maksymalna próżnia jednostek ultra-wysokiej próżni, które głównie wykorzystują pompy molekularne, wynosi 10-8 Pa, co charakteryzuje się szybkim startem i niskim poziomem zanieczyszczenia olejem.

Prędkość pompowania można zwiększyć poprzez dodanie do urządzenia zimnej pułapki ciekłego azotu. Wylot pompy mechanicznej jest zaopatrzony w odwadniacz zimny, aby zapobiec przedostawaniu się oparów oleju do układu.

(3) bezolejowe urządzenie o ultrawysokim podciśnieniu

Jednostka próżniowa, która nie wykorzystuje oleju do wytworzenia cieczy roboczej i nie uszczelnia się materiałem organicznym, nazywana jest jednostką super-wysokiej próżni bez oleju. Powszechnie stosowane pompy główne to pompa kriogeniczna, pompa tytanowa, jonowa pompa rozpylająca itp. W porównaniu z układem podciśnieniowym oleju ma następujące zalety:

Można uzyskać czystą próżnię i źródło zanieczyszczeń.

Po uruchomieniu bezolejowej pompy próżniowej można wyodrębnić pompę wstępną.

Jeśli wentylacja zatrzyma się nagle, system nie zostanie zanieczyszczony;

Nie ma oleju, hałasu i wibracji, co poprawia środowisko pracy.

Końcowy stopień podciśnienia jest wysoki, prędkość pompowania jest wysoka, a czas pompowania krótki.