Miernik przepływu masy
D07-7KM Przepływomierz masowy Wprowadzenie Miernik masowego przepływu (MFC) składa się z trzech podstawowych urządzeń: czujnika przepływu, obejścia rozdzielającego przepływ i płytki drukowanej, dokładnie mierzy masowe natężenie przepływu, co oznacza, że objętość gazu jest zmienna ze względu na zmiany temperatury. MFC jest szeroko stosowany w dziedzinach ...
- Wprowadzenie produktów
Wprowadzenie
Miernik masowego przepływu (MFC) składa się z trzech podstawowych urządzeń: czujnika przepływu, obwodnicy przepływu i płytki drukowanej, dokładnie mierzy masowe natężenie przepływu, co oznacza, że objętość gazu jest zmienna ze względu na zmiany temperatury. MFC ma szerokie zastosowanie w dziedzinie produkcji półprzewodników i układów scalonych, specjalnej materiałoznawstwa, przemysłu chemicznego, przemysłu petrochemicznego, przemysłu farmaceutycznego, ochrony środowiska, badań systemów próżniowych itp.
Typowym zastosowaniem
Typowe zastosowania MFC obejmują mikroelektroniczne urządzenia procesowe, takie jak dyfuzja, utlenianie, epitaksja, CVD, plazma, trawienie, rozpylanie, implantacja jonów i inne dziedziny, takie jak sprzęt do osadzania próżniowego, topienie włókien światłowodowych, sprzęt do mikrodefinicji, układ mieszania i dopasowywania gazów. , system kontroli przepływu kapilarnego, chromatograf gazowy i inne instrumenty analityczne.
D07-7KM MFC ma zalety: wysoką precyzję, długą żywotność, doskonałą powtarzalność, szybką reakcję, miękki rozruch, dobrą niezawodność, szeroki zakres ciśnienia roboczego (dobra praca w warunkach wysokiego ciśnienia lub próżni), łatwa i wygodna obsługa itp. Może być zainstalowany wszędzie tam, gdzie jest potrzebny i podłączony do komputera, aby uzyskać automatyczną kontrolę.
Specyfikacja
Zakresy przepływu | (20,30,50, 100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Precyzja | ± 1,5% FS |
Liniowość | ± 1% FS |
Powtarzalność | ± 0,2% FS |
Czas odpowiedzi | ≤4 sek |
Współczynnik temperatury | Zero: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Rozpiętość: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Maksymalne ciśnienie | 3MPa |
Operacja Temperatura | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Materiał uszczelniający | Viton, neopren |
Sygnał ustawienia / wyjścia | 0V ~ + 5,00V (Impedancja wejściowa> 100K, Prąd wyjściowy≤3ma) |
Zasilacz | + 15V 50mA -15V 50mA |
Połączenie elektryczne | D sub 15 szpilek Female |
Różnica ciśnień | <0,01> |
Wskaźnik wycieków | 1 × 10-8atm • cc / s He (1 × 10-9 Pa • m3 / sek. He) |
Złącze standardowe | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (wewnętrzny) × 1 łącznik węża, magnetowid1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (wewnętrzny) × 1 łącznik węża |
Głoska bezdźwięczna | Cały gaz |
Emi | CE |
Waga | 0,92 kg |
Wymiary instalacji
