Zbiornik powietrza
Oct 12, 2023| Zbiornik powietrza
Zespół pomp wysokopróżniowych z małą pompą dyfuzyjną jest zwykle skonfigurowany ze zbiornikiem gazu, który jest umieszczony pomiędzy pompą dyfuzyjną a pompą przednią w celu przechowywania gazu odprowadzanego przez pompę dyfuzyjną. Powody ustawienia zbiornika gazu to:
1) Potrzeba ochrony systemu przed wstrząsami
Gdy system próżniowy działa, niektóre procesy wymagają ścisłej odporności na wstrząsy, więc poprzednia mechaniczna pompa próżniowa musi przestać działać na pewien czas, gdy komora próżniowa jest w dobrym stanie. W tym czasie cały gaz odprowadzany przez pompę dyfuzyjną jest magazynowany w zbiorniku gazu, a zbiornik gazu służy do zastąpienia pompy mechanicznej w celu utrzymania normalnej pracy pompy dyfuzyjnej.
2) W celu skrócenia cyklu pracy
Niektóre procesy produkcyjne wymagają wypuszczenia komory próżniowej do atmosfery w zamian za komponenty i ładowanie bez zamykania podgrzewacza pompy dyfuzyjnej. Pompa przednia jednostki próżniowej służy jako pompa pompująca wstępna. Po załadowaniu komora próżniowa jest wstępnie pompowana pompą mechaniczną, a zbiornik gazu służy w tym czasie do podtrzymania pompy dyfuzyjnej (jako pompy przedniej).
3) Aby zapobiec wpływowi dużej ilości chwilowego wyładowania gazu w komorze próżniowej na normalne działanie pompy dyfuzyjnej
W produkcji metodą próżniową objętość spalin jest szczególnie duża w pewnym okresie czasu, ale czas ten jest krótki. Jeżeli w tym momencie skonfigurowanie pompy mechanicznej zgodnie z maksymalną objętością spalin nie jest ekonomiczne, można na tym etapie skonfigurować w systemie zbiornik magazynujący przed etapem, aby magazynował część gazu przy maksymalnej objętości spalin, aby uniknąć ciśnienie wstępne pompy dyfuzyjnej przekraczające maksymalne ciśnienie wsteczne.
4) Służy do stabilizacji ciśnienia wylotowego pompy dyfuzyjnej
Ponieważ wylot mechanicznej pompy próżniowej jest pulsowany, chociaż częstotliwość nie jest wysoka (zwykle około 7 razy/s), spowoduje to również wahania ciśnienia wylotowego pompy dyfuzyjnej, a ustawienie zbiornika gazu może zmniejszyć takie wahania.
Firma IKS PVD, maszyna do powlekania dekoracyjnego, maszyna do powlekania narzędzi, maszyna do powlekania DLC, maszyna do powlekania optycznego, linia do powlekania próżniowego PVD, dostępny projekt pod klucz. Skontaktuj się z nami teraz. E-mail: iks.pvd@foxmail.com