System wysokiej próżni

System wysokiej próżni
System wysokiej próżni jest szeroko stosowany, a jego zakres ciśnienia roboczego wynosi zazwyczaj 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Typowe systemy pompowania to:
(1) Układ podciśnieniowy z mechaniczną pompą dyfuzyjną. Jak pokazano na rysunku 5-2, system ten może uzyskać podciśnienie wynoszące 10-2 ~ 10-5Pa, które jest zwykle stosowane w sprzęcie aplikacyjnym ze stosunkowo małą ilością gazów spalinowych podczas pracy. System ma zalety prostej konstrukcji, niezawodnego działania i niskiego kosztu. Wadą jest to, że system uruchamia się powoli, a czas wstępnego rysowania jest długi. Opary oleju z pompy dyfuzyjnej łatwo cofają się do komory próżniowej.
(2) pompa wspomagająca olej z serii pomp dyfuzyjnych, a następnie szeregowy układ podciśnieniowy z pompą mechaniczną. System ma krótki czas wstępnego pobierania, ale powolny start.
(3) seria pomp dyfuzyjnych, pompa Rootsa, a następnie szeregowa pompa mechaniczna z systemem próżniowym. Rozpoczęcie jest powolne, ale czas wstępnego pompowania jest krótki.

Firma IKS PVD, maszyna do powlekania dekoracyjnego, maszyna do powlekania narzędzi, maszyna do powlekania DLC, maszyna do powlekania optycznego, linia do powlekania próżniowego PVD, dostępny projekt pod klucz. Skontaktuj się z nami teraz. E-mail: iks.pvd@foxmail.com