Podstawowe kroki procesu powlekania próżniowego PVD

Proces wstępnej obróbki

Demontaż, śrutowanie, polerowanie, pasywacja, czyszczenie, zaciskanie

Proces powlekania

Opróżnianie, ogrzewanie, test szybkości wycieku, czyszczenie bombardowania, powlekanie, chłodzenie

Po leczeniu

1. Czyszczenie: Upewnij się, że powierzchnia produktu przed pokryciem jest czysta, a czystsza powierzchnia, tym lepsza jakość powłoki może być zagwarantowana.

2. Ewakuacja: Opróżnić resztkowy gaz z komory próżniowej.

3. Ogrzewanie: Piec i obrabiany przedmiot są podgrzewane w tym samym czasie, aby przyspieszyć uwalnianie resztek gazu.

4. Badanie szybkości wzrostu napięcia: Szybkość wycieku gazu i szybkość uwalniania gazu z pieca do prób.

5. Czyszczenie bombardowania: Usuń zanieczyszczenia z powierzchni obrabianego przedmiotu, aby odsłonić czystą powierzchnię.

6. Powlekanie: zdeponowany film.

7. Chłodzenie: Unikaj utleniania i odbarwiania obrabianego przedmiotu.

Dlaczego chłodzić?

Po zakończeniu procesu powlekania temperatura komory próżniowej wynosi do 500 ° C. Jeśli zostanie opróżniony bez chłodzenia, powierzchnia przedmiotu o wysokiej temperaturze, która nie jest galwanizowana, stanie się niebieska z powodu reakcji z powietrzem.

Jak chłodzić?

1. Aby zamknąć wysoki zawór i wakuometr, a komora próżniowa jest oddzielona od grupy pomp.

2. Gdy operator naciśnie przycisk odpowietrzania N ₂ , wstępnie podłączony azot zostanie napełniony do komory próżniowej przez zawór inflacyjny N ₂ , a gdy ciśnienie w komorze próżniowej osiągnie ustalone ciśnienie przełącznika ciśnieniowego, N ₂ zawór inflacyjny jest zamknięty.

3. Komora próżniowa jest wypełniona dużą ilością N2, a stopień podciśnienia jest bardzo niski, co jest bardziej sprzyjające przewodzeniu ciepła. Może skrócić czas chłodzenia i zwiększyć wydajność produkcji, a rzeczywisty czas chłodzenia można zmniejszyć z 90 minut do 60 minut.

4. Ponieważ hel ma wyższe przewodnictwo cieplne, chłodzenie helu jest szybsze niż azotu, ale koszt jest wyższy.

5. Program szybkiego chłodzenia dla obcych urządzeń może skrócić czas chłodzenia o 50% poprzez chłodzenie cyklu chłodzenia gazu.

Przyczyny testu wzrostu ciśnienia

Środowisko próżniowe jest najważniejszym czynnikiem wpływającym na końcową jakość powłoki. Przed powlekaniem należy przeprowadzić wzrost ciśnienia, aby zapewnić, że warunki środowiska próżniowego są zgodne ze standardem powlekania.