Rzeczowe wyjaśnienie dotyczące próżni

Rzeczowe wyjaśnienie dotyczące próżni

IKS PVD iks.pvd@foxmail.com

1. Definicja próżni

Układ próżniowy to cienka objętość gazu poniżej ciśnienia atmosferycznego w tym obszarze.

2. Stopień podciśnienia

Stopień cienkości w próżni jest zwykle wyrażany jako "wysoka próżnia" i "niska próżnia". Wysoka próżnia oznacza dobrą, a niska próżnia oznacza słabą.

3. Jednostka próżniowa

Zwykle Torr jest używany jako urządzenie, a Pa jest używany na całym świecie w ostatnich latach.

1 uchwyt = 1/760 atmosfery = 1 milimetr słupa rtęci

4. Przenieś między Tod a pa

1 paleta = 133.322 palety lub 1 paleta = 7.5 razy 10-3 palety

5. Średnia wolna ścieżka

Średnia odległość przebyta przez dwie kolejne kolizje cząstek gazu w nieregularnym ruchu termicznym jest oznaczona symbolem "odjazd".

6. przepływ

Ilość gazu przepływającego przez dowolną sekcję w jednostce czasu, wyrażona jako "Q", w jednostkach Pa · L / s (Pa · L / s) lub Torr · L / s (Torr · L / s).

7. Przewodnik przepływu

To zdolność rurki próżniowej do przejścia przez gaz. Jednostką jest litrów na sekundę (L / s), a w stanie ustalonym, przepływ rury jest równy przepływowi rury podzielonej przez różnicę ciśnień między dwoma końcami rury. Symbol nazywa się U.

U = Q / (P2, P1)

8. Ciśnienie lub ciśnienie

Siła wywierana przez cząsteczkę gazu na jednostkę powierzchni ścianki pojemnika jest wyrażona jako P.

9. Standardowe ciśnienie atmosferyczne

Nacisk 101325 Dain na centymetr kwadratowy, symbol: (Atm).

10. Najwyższa próżnia

Po całkowitym przepompowaniu naczynia próżniowego stabilizuje się go w pewnym stopniu podciśnienia, który nazywa się ostateczną próżnią. Zwykle naczynie próżniowe musi być oczyszczane w powietrzu przez 12 godzin, a następnie próżni przez 12 godzin. Ostateczna godzina jest mierzona co 10 minut. Średnią wartość 10 razy przyjmuje się jako wartość próżni granicznej.

11. Wskaźnik pompowania

Przy pewnym ciśnieniu i temperaturze gaz pompowany z wlotu pompy w jednostce czasu nazywany jest szybkością pompowania lub szybkością pompowania. Sp = Q / (p-p0).

12. Manometr próżniowy termoelementu

Wskaźnik próżni używany do pomiaru stopnia próżni za pomocą potencjału elektrycznego termoelementu w stosunku do temperatury elementu grzejnego i temperatury elementu w odniesieniu do przewodnictwa cieplnego gazu.

13. Wskaźnik próżni jonizacji (miernik jonizacji gorącej katody)

Składa się z rurowego słupa kolektora, siatki i żarnika umieszczonych w środku kratki. Rurowy słupek kolektora znajduje się poza siatką. Emisje cząsteczek gazu zjonizowanego w gorącej katodzie, jony są gromadzone przez kolektor, zgodnie z wielkością zebranego strumienia jonów, aby zmierzyć ciśnienie gazu w mierniku próżni.

14. Podciśnienie kompozytowe

Składający się z próżniomierza termoelektrycznego i próżniowego wskaźnika jonizacji gorącej katody, zakres pomiaru wynosi ~ 10-5pa.

15. Miernik jonizacji zimnej katody

Na obu końcach rurki anody znajduje się para płytek katodowych, pod działaniem zewnętrznego pola magnetycznego, w rurce anodowej powstaje wyładowanie panninowe w celu wytworzenia jonów, a miernik próżni ciśnienia gazu jest określany zgodnie z rozmiarem jonów przepływ zbierany przez płytkę katodową.

16. Odporność na podciśnienie

Wskaźnik podciśnienia, który mierzy stopień podciśnienia za pomocą obwodu mostkowego, przy założeniu, że rezystancja elementu grzejnego zależy od temperatury, a temperatura elementu jest związana z przewodnictwem gazu.

17. Manometr próżniowy McLeoda (ciśnieniomierz podciśnienia)

Mierzony gaz jest sprężany do bardzo małej objętości za pomocą rtęci (lub oleju), a następnie porównywany z różnicą między kolumną cieczy między rurą otwartą a zamkniętą.

18 i B - Wskaźnik

Jest to miernik jonizacji gorącej katody z inwersją kolektora. Elektroda kolektorowa jest włóknem, umieszczonym w środku siatki, a włókno jest umieszczone poza siatką, zmniejszając w ten sposób wpływ miękkiego promieniowania rentgenowskiego.

19. Pompa próżniowa z pierścieniem wodnym

Wirnik pompy obraca się, tworząc pierścień wodny. Jest to mechaniczna pompa próżniowa, pompuje powietrze z powodu okresowej zmiany objętości pomiędzy pierścieniem wodnym a łopatką w wyniku obrotu mimośrodu wirnika.

20. Tłokowa pompa próżniowa

To mechaniczna pompa próżniowa, zasysa powietrze przez ruch posuwisto-zwrotny tłoka.

21. Mechaniczna pompa próżniowa z uszczelnieniem olejowym

Mechaniczna pompa próżniowa z olejem do utrzymania uszczelki może być podzielona na typ nieruchomy, obrotowy, przesuwny, typu trochoidalny i tak dalej.

22. Korzeń pompy próżniowej

Mechaniczna pompa próżniowa z parą synchronicznych obrotowych wirników o dużej prędkości obrotowej, pompa ta nie może być pompowana oddzielnie, uszczelnienie olejowe, pierścień wodny i inne pompy próżniowe mogą bezpośrednio wydmuchiwać atmosferę.

23. Turbo-molekularna pompa próżniowa

Jest wirnik o dużej prędkości obrotowej. Kiedy cząsteczki gazu zderzają się z szybkim wirującym łopatką turbiny, są one doprowadzane do wylotu, a następnie usuwane przez pompę przednią.

24. Pompa próżniowa z dyfuzją oleju

Strumień pary o wysokiej prędkości jest wyrzucany z dyszy pompy dyfuzyjnej. W warunkach przepływu molekularnego cząsteczki gazu są w sposób ciągły rozpraszane w strumieniu pary i są ściskane przez taśmę parową do wylotu pompy krok po kroku, a następnie wyłączane przez poprzednią pompę.

25. Niskotemperaturowa pompa próżniowa

Pompa próżniowa używana do skraplania gazu adsorpcyjnego na powierzchni o niskiej temperaturze poniżej 20K.

26. Zimna pułapka (przegroda wodna)

Urządzenie umieszczone pomiędzy pojemnikiem próżniowym a pompą do pochłaniania gazu lub wychwytywania oparów oleju.

27. Zawór balastowy powietrzny

Mechaniczna pompa próżniowa z uszczelnieniem olejowym w komorze sprężania, aby otworzyć mały otwór, i założyć regulator, i wyregulować objętość po otwarciu zaworu, wirnik do określonego miejsca, przeszedł ten otwór w komorze sprężonego powietrza, aby zmniejszyć stopień sprężania, więc aby jak najwięcej pary było skondensowane z zablokowanej pompy z mieszanym gazem, rola zaworu nazywa się balastem gazowym.

28. Suszenie z wymrażaniem próżniowym

Suszenie próżniowe w próżni, znane również jako suszenie sublimacyjne. Chodzi o to, aby zamrozić materiał tak, aby zawarta w nim woda zamieniła się w lód, a następnie sublimować lód w próżni, aby wyschnąć.

29. Odparowanie próżniowe

W środowisku próżni, ogrzewanie i powlekanie materiału na podłożu nazywa się odparowaniem próżniowym lub powlekaniem próżniowym.

30. Suszenie próżniowe

Jest to metoda suszenia przedmiotów przy użyciu niskiej temperatury w próżni.

31. Nazwa zwyczajowa systemu próżniowego

(1) pompa główna: w systemie próżni pompa próżniowa zastosowana w celu uzyskania wymaganego stopnia podciśnienia w celu spełnienia określonych wymagań procesowych, takich jak pompa dyfuzyjna oleju w maszynie do powlekania próżniowego jest pompą główną.

(2) pompa przedniego stopnia: pompa próżniowa stosowana do utrzymywania ciśnienia pompy próżniowej na przednim stopniu poniżej krytycznego przedniego stopnia. Pompa obrotowa lub zawór suwakowy, tak jak w przypadku pompy korzeniowej, to pompa wstępna.

(3) pompa zgrubna: pompa próżniowa, która zaczyna pompować powietrze pod ciśnieniem atmosferycznym, a następnie pompuje ciśnienie w systemie do innej pompy próżniowej, aby rozpocząć pracę. Takich jak maszyna do powlekania próżniowego w suwakowej pompie zaworowej, jest pompa oleju gruboziarnistego.

(4) pompa konserwacyjna: w systemie próżni objętość powietrza jest bardzo mała, a pompa przednia nie może być efektywnie wykorzystana. W tym celu mała pojemność pompy pomocniczej do utrzymania głównej pracy pompy, ta pompa jest nazywana pompą serwisową. Jeśli na wylocie pompy dyfuzyjnej znajduje się mała pompa łopatkowa, jest to pompa konserwacyjna.